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　　真空密封從密封圈的材料來分主要有橡膠、聚四氟乙烯、聚氨酯等合成材料組成的密封以及金屬密封。

　　橡膠、合成材料具有的高彈性、高耐磨性和適宜的機械強度等優點，使其廣泛應用于真空密封，但是因其具有較大的出氣率和滲透率，并且不能高溫烘烤、不耐輻射等特點，而受到應用限制。

　　金屬密封則彌補了橡膠密封的以上缺點，因而廣泛應用于超高真空環境。對于超高真空，一般要求漏率小于1×10-11Pa·m3/s，為了更好的密封配合，一般要求重慶法蘭密封面的粗糙度≤Ra0.8。由于金屬材料同樣具有一定的彈性以及延展性，所以常常作為各種真空以及壓力設備的密封。

　　在金屬密封圈受到外界壓力而發生彈性變形時，在彈性恢復力的作用下，密封圈具有恢復原始形狀的趨向，這種趨向填補了密封面的縫隙，從而起到密封的作用。

　　應用金屬的彈性作為密封件的材料有：無氧銅、純鋁、金、銀等硬度相對較軟的金屬;某些金屬如金屬銦，因其具有很好的延展性，在受到外界壓力后可以向各個方向流動，填補密封面縫隙，同樣可以起到密封作用。

　　無氧銅和純鋁價格相對便宜，常作為標準件密封圈使用。無氧銅密封圈在刀口重慶法蘭(CF)中使用最廣，并且已形成國家標準，具體可參考標準GB/T6071-2003《超高真空法蘭》。